【要闻】打破海外技术垄断 “合肥造”光刻设备填补国内空白

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合肥在线信(记者荚妤)光刻机是专门制造芯片的核心设备，由于该设备高科技，在发达国家被禁止销售，长期阻碍了国产芯片的快速发展。 长期以来，国内无论是芯片还是制造芯片的高端装备都依赖海外进口。 位于高新技术产业开发区的合肥芯棋微电子装备有限企业通过自主创新改变了这种状况，实现了对外出口。 多台合肥产的光刻设备出口中国台湾地区、东南亚、韩国等地，年创汇达2，000万以上。

核心企业将在4月24日开馆的安徽创新馆展示主要产品激光图像ldi设备的acura系列。 该设备使用国内首款双平台激光直接成像技术，将生产效率提高1.8倍，使设备线宽分辨率、定位进度、产能三个核心指标达到先进水平，首要应用于ic封板和tp的曝光。

合肥芯棋微电子装备有限企业成立于年6月，企业经过3年多的探索，目前已经形成了自己的产品主线，包括半导体掩膜光刻设备、高端pcb专用激光直写设备(软板、hdi、自动线、防焊di )、以及显示行业的光刻(

从设计到采用，芯片制造是关键环节，光刻技术是制造的核心，光刻就是将集成电路刻在硅片上。 芯碱社长方林表示，激光直写光刻机、双平台激光曝光机&hellip； &hellip； 这些是集成电路制造行业的核心装备，企业完全拥有自主的知识产权，填补了国内高端集成电路装备产业的空白。

目前，该企业已成为领域内的标杆公司，预计年销售额将达到1亿，年销售额将达到2亿以上。 这不仅是我们努力的结果，也是高新技术产业开发区高质量的投资环境和产业政策的支持所致。 方林表示

据悉，年芯碱将建设35000平方米的生产、研发、办公基地，实现基地的科技化、现代化和智能化，届时将每年形成10亿个以上的生产能力。